臥式多功能爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)

Pindola?臥式多功能爐PLX200

功能

定制化的多工藝組合機(jī)臺

軟著陸設(shè)計,自動化成本可控

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或電話聯(lián)系:

86-18924169069 / 020-31569374

技術(shù)參數(shù)

晶圓尺寸:8英寸以下

工藝類型:氧化、退火、合金、LPCVD

適用材料:硅、碳化硅

應(yīng)用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、光電器件、科研

技術(shù)參數(shù)
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