8寸立式合金爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)

Bhadra?立式低溫合金爐BLA200

功能

主要應(yīng)用于8英寸中低溫合金工藝,低溫條件下通入惰性氣體,釋放各層間的應(yīng)力,形成良好的層間接觸面,降低層間接觸面電阻,工藝過程中可以實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化。

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技術(shù)參數(shù)

晶圓尺寸:8英寸

工藝類型:合金、PI固化

適用材料:硅

應(yīng)用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、集成電路、科研

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