12寸立式合金爐管設備
功能
技術(shù)參數(shù)

Bhadra?立式低溫合金爐BLA300

功能

主要應用于12英寸中低溫合金工藝,低溫條件下通入惰性氣體,釋放各層間的應力,形成良好的層間接觸面,降低層間接觸面電阻,工藝過程中可以實現(xiàn)高度自動化。

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技術(shù)參數(shù)

晶圓尺寸:12英寸

工藝類型:合金、PI固化

適用材料:硅

應用領域:功率半導體、集成電路、科研

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