12寸立式LPCVD爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)
Bhadra?立式LPCVD BLD300
功能
主要應(yīng)用于12英寸低壓化學(xué)氣相沉積，生長出的薄膜具有高純度、高均勻性和較好的臺階覆蓋能力
或電話聯(lián)系：
86-18924169069 / 020-31569374
技術(shù)參數(shù)
晶圓尺寸：12英寸
工藝類型：應(yīng)用于Poly、Nitride、TEOS工藝
Poly:作為柵極和虛設(shè)柵極（Dummy Gate）
Nitride:用做硅片最終的鈍化保護(hù)層，掩膜工藝和淺槽隔離工藝
TEOS：應(yīng)用于絕緣膜，淺槽隔離的填充物
適用材料：硅
應(yīng)用領(lǐng)域：功率半導(dǎo)體、集成電路、科研
