6寸碳化硅高溫退火爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
適配晶圓尺寸：4，6寸
適用襯底材料：碳化硅
適用領(lǐng)域：功率半導體、襯底材料、科研
