6寸碳化硅高溫氧化爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)

Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150

功能

1.高溫氧化工藝
2.DCE清洗去除可動離子作用和中高溫退火工藝

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或電話聯(lián)系:

86-18924169069 / 020-31569374

技術(shù)參數(shù)

適配晶圓尺寸:4,6寸

適用襯底材料:碳化硅

適用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、襯底材料、科研

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