技術(shù)參數(shù)

適配晶圓尺寸：多尺寸（可定制）

反應(yīng)氣體：CH4、CO2、H2、N2（可定制）

反應(yīng)腔材質(zhì)：高純石英（可定制）

最大載片量：50片/批（可定制）